193nm紫外波前傳感器（512x512高相位分辨率）助力半導(dǎo)體/光刻機行業(yè)發(fā)展！

摘要：

昊量光電聯(lián)合法國Phasics公司推出全新一代193nm高分辨率（512x512）波前分析儀!該波前傳感器采用Phasics公司技術(shù)-四波橫向剪切干涉技術(shù)，可以工作在190-400nm波段，消色差，具有2nm RMS的相位檢測靈敏度，能夠精確測量紫外光波前的細(xì)微變化。SID4-UV-HR 紫外波前分析儀非常適合紫外光學(xué)元件表征（DUV光刻、半導(dǎo)體等領(lǐng)域）和表面檢測（透鏡和晶圓等）。

193nm 紫外波前傳感器（512x512 高相位分辨率）在半導(dǎo)體/光刻機行業(yè)中具有重要作用。該傳感器具有高分辨率，消色差，對震動不敏感，高靈敏度（2nm RMS）等特點，可以為半導(dǎo)體制造和光刻機技術(shù)提供關(guān)鍵波像差數(shù)據(jù)，有助于提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，推動行業(yè)的發(fā)展。

在光刻機行業(yè)中，高精度的波前傳感器是關(guān)鍵組件之一。它可以實時監(jiān)測和校正光刻機光學(xué)系統(tǒng)中的誤差，從而提高光刻質(zhì)量和成品率。這款新的紫外波前傳感器的推出，將進(jìn)一步提升光刻機的性能，加速半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展。

波前傳感器原理介紹：

193nm波前分析儀采用四波橫向剪切干涉技術(shù)，該技術(shù)是一種用于測量激光波前、光刻物鏡波像差，光學(xué)元器件面型表征的技術(shù)，其原理是測試光波經(jīng)過兩個正交（0、π）的相位光柵，獲得四個干涉光束，四束光兩兩干涉，通過測量這四個干涉光束的干涉后的光強分布來計算光波的相位分布。該技術(shù)采用0和π的二維光柵作為分光器件，利用該二維光柵將測試光分為四束，并使它們發(fā)生橫向剪切干涉，得到的單幅載頻干涉圖中包含兩正交方向的差分波前信息，通過特定的分析和定量計算（反傅里葉變換）可實現(xiàn)瞬態(tài)波前檢測。

波前傳感器主要功能介紹：

一、光學(xué)和光學(xué)系統(tǒng)計量

1.1 光刻物鏡和光學(xué)鏡頭計量

Phasics的四波橫向剪切干涉測量 （QWLSI） 波前傳感技術(shù)的功能允許測量高數(shù)值孔徑光束(Up to NA:0.95)，而無需任何中繼光學(xué)器件。這一優(yōu)勢簡化了測量設(shè)置。在單次拍攝中，同時測量波前誤差 （WFE）和調(diào)制傳遞函數(shù) （MTF）。物鏡、子組件和zui終組件的鑒定是完整且易于實施的。事實上，SID4波前傳感器只需放置在聚焦后幾毫米處的發(fā)散光束中。測量后，借助 Phasics 軟件模塊 Design Pro，波前測量可以與理論 Zemax 模擬進(jìn)行比較。

1.2 復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)對準(zhǔn)/計量

參考球體或顯微鏡物鏡可以很容易地放置或擰到R-Cube模塊的出口處。在此配置中，點源創(chuàng)建一個發(fā)散光束，該發(fā)散光束注入被測系統(tǒng)中。實時波前顯示允許監(jiān)控和優(yōu)化光學(xué)對準(zhǔn)。

1.3面型檢測

當(dāng)集成到反射裝置中時，Phasics SID4波前傳感器可以執(zhí)行面型檢測。Kaleo 軟件輸出3D 曲面圖和凸面或凹面（如透鏡、鏡子或模具）的曲率半徑。ISO 10110 標(biāo)準(zhǔn)定義的所有表面質(zhì)量參數(shù)，如表面不規(guī)則度、粗糙度和波紋度，都是從該測量中計算得出的。也可以在任何方向上提取表面輪廓，并且可以將結(jié)果與理論表面進(jìn)行比較。

二、激光測試和自適應(yīng)光學(xué)控制

Phasics的波前傳感器以其高分辨率（512x512）和易用性而著稱。一臺儀器可以涵蓋廣泛的用途：光束測試、光學(xué)系統(tǒng)對準(zhǔn)、自適應(yīng)光學(xué)和等離子體表征。Phasics SID4波前傳感器為超快激光研究實驗室和激光制造環(huán)境中的研發(fā)工程師、生產(chǎn)團(tuán)隊和研究人員提供了全面的多功能性。使用自適應(yīng)光學(xué)器件對光束進(jìn)行鑒定和校正可以在從紫外到長波比橡膠的任何類型的激光系統(tǒng)上進(jìn)行：連續(xù)高功率、飛秒太瓦和拍瓦鏈、固態(tài)激光器、OPCPA、氣體激光器、可調(diào)諧激光器等。

2.1 激光檢測

SID4 波前傳感器與其光束分析軟件相結(jié)合，可對激光進(jìn)行完整的診斷：波前像差、強度分布、激光束質(zhì)量參數(shù)（M2、發(fā)散角、束腰等）。Phasics 的波前分析儀可以定位在光學(xué)裝置的任何點，無論光束是準(zhǔn)直的還是發(fā)散的。Phasics SID4波前傳感器適用于從紫外（190nm）到遠(yuǎn)紅外(14um)的任何連續(xù)或脈沖激光。

2.2 自適應(yīng)光學(xué)

Phasics波前分析儀可與任何可變形光學(xué)器件兼容：如壓電可變形鏡、機械可變形鏡、電磁可變形鏡和MEMS可變形鏡以及空間光調(diào)制器和自適應(yīng)透鏡。為了校正超快激光，Phasics自適應(yīng)光學(xué)環(huán)路通過波前像差補償實現(xiàn)精細(xì)的校正。OASys 自適應(yīng)光學(xué)環(huán)路結(jié)合了 Phasics 高分辨率 SID4 波前傳感器和適合項目要求的可變形反射鏡設(shè)備，OASys可實現(xiàn)閉環(huán)控制。

波前傳感器產(chǎn)品分類介紹：

1）190-400nm紫外波前傳感器

2）400-1100nm可見光-近紅外波前分析儀

3）900-1700nm短波紅外波前分析儀

4）3-5um & 8-14um中遠(yuǎn)紅外波前傳感器

關(guān)于昊量光電：

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商，產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測量設(shè)備、光學(xué)元件等，涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究、國防、量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等；可為客戶提供完整的設(shè)備安裝，培訓(xùn)，硬件開發(fā)，軟件開發(fā)，系統(tǒng)集成等服務(wù)。