| 品牌 | 昊量光電 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
TopMap Metro.Lab 白光干涉儀（3D形貌儀）
Polytec旗下的 TopMap Metro.Lab，是一款的高精度白光干涉儀（相干掃描干涉儀），TopMap Metro.Lab 白光干涉儀（3D形貌儀）的大垂直測量范圍與納米級分辨率脫
穎而出。這一特性，使得 Metro.Lab 形貌測量系統(tǒng)在針對大面積表面及結(jié)構(gòu)的平面度、臺階高度和平行度進(jìn)行非接觸式測量時(shí)表現(xiàn)，哪怕面對柔軟嬌貴、極易受損的材料，
也能精準(zhǔn)探測，毫無壓力。
作為一套完備的測量站設(shè)備，一旦您有測量各類表面大面積形貌的需求，TopMap Metro.Lab 無疑是。它擁有高達(dá) 70 mm的大垂直測量范圍，即便是在極為嚴(yán)苛、復(fù)雜的測
量條件下，也能穩(wěn)定達(dá)成亞nm 級分辨率的測量，精準(zhǔn)度令人贊嘆。
TopMap Metro.Lab 白光干涉儀的優(yōu)勢：
37x28mm大單像場(擴(kuò)展尺寸 87 x 78 毫米）
70mm靈活、較大的 Z 范圍
2.83nm高垂直分辨率
48個(gè)月免費(fèi)保修 + 軟件終身更新
TopMap Metro.Lab 白光干涉儀的亮點(diǎn)：
● 采用光學(xué)干涉原理，非接觸式測量
● 遠(yuǎn)心鏡頭具備性能，即便對于位置低洼的點(diǎn)位，也能精準(zhǔn)測量
● Z向測量范圍達(dá) 70 mm，非常靈活
● 即使是較大被測面，亦能快速測量
● 增強(qiáng)版本的測量視場大幅提升，可達(dá)約 80×80 mm2
● 軟件操作簡便且支持自動(dòng)化運(yùn)行，可生成符合 DIN/ISO 標(biāo)準(zhǔn)的參數(shù)
● 憑借智能表面掃描技術(shù)，幾乎能夠應(yīng)對任何表面，精準(zhǔn)檢測反射率差異極大的表面
● 可集成于防塵、減震的工作站中，以便在車間使用
● 4 年免費(fèi)保修和終身軟件更新
規(guī)模小、預(yù)算少
TopMap Metro.Lab 性價(jià)比高，無論是在計(jì)量實(shí)驗(yàn)室，還是在緊鄰生產(chǎn)線的場所，于各類工作場景下都具吸引力。相較于傳統(tǒng)的接觸式測量方法，它能夠開展更為全面深入的表面分析。同所有 TopMap 系統(tǒng)一樣，其開放式軟件架構(gòu)賦予用戶強(qiáng)大的自主性，您不僅能夠針對常規(guī)任務(wù)編寫程序，還能定制專屬的用戶界面 。
規(guī)格表
| 技術(shù)參數(shù) | |
| 則試臺尺寸 | 87×78x70 mm =0.00048 m3 |
| 單次測試至多測點(diǎn) | X:1284,Y:966,X·Y:1240344 |
| 至多測點(diǎn) | X:2969,Y:2662,X·Y:7903478 |
| 光學(xué)參數(shù) | |
| 則試范圍 | X:37 mm,Y:28 mm,X·Y:1036 mm2 |
| 工作距離 | 2.5(-2.5/+5)mm |
| 垂直測試范圍 | 70 mm |
| 則點(diǎn)間距 | X:29.3μm Y:29.3μm |
| 黃向光學(xué)分辨率計(jì)算值 | 21.4 μm |
| 橫向范圍可擴(kuò)展至 | 87 mm x 78 mm |
| 數(shù)據(jù)簡化后，橫向測試范圍可擴(kuò)展至 | 87 mm x78 mm |
| 垂直范圍可擴(kuò)展至 | 不可擴(kuò)展 |
| 性能特征 | |
| 測量噪聲 | 1 nm(相位估算) |
| 垂直分辨率 | 2.83 nm(相位估算) |
| 通用參數(shù) | |
| 尺寸[L×W×H] | 580 mmx340 mm x 372 mm |
| 重量 | 約27 kg |
| 功耗 | 100 ...240 VAC±10 %,50/60 Hz;至大40 W |
| 環(huán)境溫度范圍 | 20±3℃ |
| 工作/存儲(chǔ)溫度范圍 | +5℃...+35℃1-10℃...+65℃ |
| 相對濕度 | 至大80%,無冷凝 |
| 光生物安全 | IEC/EN 62471:2009-03 |
| 電氣安全 | IEC/EN 61010-1:2011-07;EMV:IEC/EN61326:2006-10 |
| 供貨清單 | 干涉儀、控制器、工控機(jī)、連接電纜、1個(gè)濾光片、TMS軟件及軟件狗 |
| 其它參數(shù) | |
| 工作原理 | 掃描式白光干涉法(邁克爾遜) |
| 光學(xué)部件 | 遠(yuǎn)心鏡頭；光源：長壽命LED,波長525 nm |
| 形貌格式： | SUR,ASCII數(shù)據(jù)格式輸出格式：qs-STAT,PDF,BMP,PNG,TIFF,GIF |
| 應(yīng)用參數(shù) | |
| 典型的平面度測量(單一視場掃描測試)1 | |
| 平面度偏差 | 光滑表面2:<100 nm,粗糙表面3<375 nm |
| 可重復(fù)性5 | 光滑表面2:<20 nm,粗糙表面3<50 nm |
| 典型臺階高度測試4 | |
| 名義臺階高度 | 50 μm 450 μm 1000 μm 2000 μm 5000 μm |
| 可重復(fù)性56 | 0.30 μm 0.25μm 0.30 μm 0.25μm 0.25μm |
| 臺階高度測量至大偏差6 | 3.53μm 7.30 μm 5.53 μm 5.07 μm 6.18μm |
1. 由試驗(yàn)數(shù)據(jù)取整，以及幾臺TMS-150 TopMap Metro.Lab測量不同高度的樣品的平面度的統(tǒng)計(jì)值。在平面鏡上測量(使用至大視場的95%)。
2. 相關(guān)曲線相位估計(jì)
3. 相關(guān)曲線包絡(luò)線估計(jì)
4. 試驗(yàn)測定的典型結(jié)果，該測量是在校準(zhǔn)過的PTB標(biāo)準(zhǔn)深度模型，A1型(ISO 5436-1)上進(jìn)行的
5. 在可重復(fù)條件下的一系列測量值的變化，幾臺同型號設(shè)備的測試數(shù)據(jù)的平均值
6. 可重復(fù)條件下測量21次
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